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单晶硅、多晶硅专业烘箱



烘硅料烘箱技术说明

一、箱体结构尺寸

1.  控制箱:位于机台右部,方便操作,维修方便.

2.  门:双门

3.  铰链:采用2组,坚固耐用.

4.  内胆材质:优质耐高温不锈钢SUS316L,内壁焊接处理,便于用水清洗,内部骨架为碳钢          Q235A

5.  外箱材质:优质碳钢Q235A,烤漆,电脑白。

6.  保温材质:采用优质高温耐热岩棉(最高耐温700),保温性能佳,节能省电,环保无污染

7.  密封:配备硅胶门条,有效防止热量流失,保持温度平稳,节能效果佳。

8.  内部平分三层,每层配置不锈钢平面架和烘干托盘12只。

9.  烘干盘规格:盘底均匀分布小孔。小孔尺寸φ12mm,孔间距30mm。每层放置2个盘(每盘承重25公斤),烘盘采用不锈钢SUS316L。

10.  设备内部保证做到无油,无尘,无污染的洁净空间。

二、送风系统

1.  风路机件:采用1组长轴马达750W,减少噪音;内部耐高温不锈钢多翼式风轮10.5B向,经 过动平衡矫正及风速静压之测试、共鸣之测试完成;采水平送风循环方式,左侧吹风,右侧回风,有效保证均温。

2.  炉体出风风路:耐高温不锈钢SUS316L

3.  排湿口:自然排风

三、精度

1.  温度范围:最高温度300

2.  温度精度:±1

3.  温度均匀度:150±5(空箱测试)

四、温控系统

1.  加热器材质:采用优质不锈钢电加热器,12KW;有电阻率高、使用温度高、使用寿命长的特点,完全独立系统,不影响控制线路。

2.  温度控制器:E5AZ欧姆龙微电脑自动演算单段控制器+SSR固态继电器*1,温度传感器采用K TYPE,精确有保证,并与电加热器自动连锁控制

3.  定时器、恒温定时器: 在0-99hm)范围内,炉内温度达到设定点时即开始计时,当烘烤时间到达设定时间时自动关闭加热系统,有计时蜂鸣报警,据实际需要可设定工作时间,自动停止电加热器,延时停止循环风机。

五、设备使用条件

1.  电源:AC 380V   50Hz

2.  温度和湿度:环境温度:-540℃  相对湿度:≤80

3.  工作环境: 室内

六、安全保护系统

1.  空气开关(防止过流和短路)

2.  电机过流过热保护

3.  超温保护(防止工作室温度过高 保护产品) 声光报警

七、安装场地要求

1.  烘箱左右后侧距离墙壁不得小于600mm,用户须提供独立的配电开关并负责设备外部的电源连接。

2.  正常工作环境条件:

(1)温度:5~45

2)相对湿度:不大于85

3)周围无强烈的振动和气流存在

4)电源:三相交流38038V,频率:5010Hz

5)无腐蚀性气体存在

3.  请务必接地。

4.  绝对不能在箱内烘烤易燃易爆物品,可燃气体及爆炸性物品。

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